压电薄膜元件以及压电薄膜设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110023507.5
申请日
2011-01-17
公开(公告)号
CN102157678A
公开(公告)日
2011-08-17
发明(设计)人
柴田宪治 末永和史 野本明 渡边和俊
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
H01L4108
IPC分类号
H01L41187
代理机构
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人
钟晶;陈彦
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
压电薄膜元件及其制造方法、以及压电薄膜设备 [P]. 
柴田宪治 ;
佐藤秀树 ;
末永和史 ;
野本明 .
中国专利 :CN101950790A ,2011-01-19
[2]
压电薄膜元件及压电薄膜装置 [P]. 
柴田宪治 ;
末永和史 ;
野本明 ;
渡边和俊 .
中国专利 :CN102097582B ,2011-06-15
[3]
压电薄膜元件 [P]. 
柴田宪治 ;
冈史人 ;
末永和史 .
中国专利 :CN101599527A ,2009-12-09
[4]
压电薄膜层叠体、压电薄膜基板以及压电薄膜元件 [P]. 
佐久间仁志 ;
东智久 ;
石井健太 .
中国专利 :CN108172683A ,2018-06-15
[5]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 ;
佐藤祐介 .
日本专利 :CN119451541A ,2025-02-14
[6]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 .
日本专利 :CN115050888B ,2025-06-06
[7]
压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器 [P]. 
森下纯平 .
中国专利 :CN115050888A ,2022-09-13
[8]
压电薄膜、压电薄膜元件和压电转换器 [P]. 
森下纯平 .
中国专利 :CN113451501A ,2021-09-28
[9]
压电薄膜、压电薄膜元件和压电转换器 [P]. 
森下纯平 .
日本专利 :CN113451501B ,2024-06-14
[10]
压电薄膜元件的制造方法、压电薄膜元件以及压电薄膜元件用部件 [P]. 
池内伸介 ;
山本观照 .
中国专利 :CN102959752B ,2013-03-06