压电薄膜元件的制造方法、压电薄膜元件以及压电薄膜元件用部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180030839.4

申请日：

2011-07-26

公开(公告)号：

CN102959752B

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

池内伸介山本观照

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

H01L4108

IPC分类号：

H01L41187 H01L41316 H01L41319 C23C1408

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

樊建中

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101430518002 IPC(主分类):H01L 41/22 专利申请号:2011800308394 申请日:20110726
2013-03-06	公开	公开
2015-09-02	授权	授权

共 50 条

[1]

压电薄膜元件以及压电薄膜设备 [P].

柴田宪治 ;

末永和史 ;

野本明 ;

渡边和俊 .

中国专利 :CN102157678A ,2011-08-17

[2]

压电薄膜元件及其制造方法、以及压电薄膜设备 [P].

柴田宪治 ;

佐藤秀树 ;

末永和史 ;

野本明 .

中国专利 :CN101950790A ,2011-01-19

[3]

压电薄膜元件 [P].

木村纯一 .

中国专利 :CN110832654A ,2020-02-21

[4]

压电薄膜元件 [P].

柴田宪治 ;

冈史人 ;

末永和史 .

中国专利 :CN101599527A ,2009-12-09

[5]

压电薄膜元件 [P].

木村纯一 .

中国专利 :CN110832655A ,2020-02-21

[6]

薄膜压电元件 [P].

三须幸一郎 ;

永塚勉 ;

和高修三 .

中国专利 :CN1171382C ,2000-06-14

[7]

压电薄膜及压电薄膜元件 [P].

功刀千香 ;

井上柚华梨 ;

石井健太 ;

日色和成 .

日本专利 :CN118678867A ,2024-09-20

[8]

压电薄膜及其制造方法以及压电元件 [P].

梅田圭一 ;

本多淳史 ;

秋山守人 ;

西久保桂子 ;

长濑智美 .

中国专利 :CN105765751B ,2016-07-13

[9]

压电薄膜元件 [P].

彼得·马迪洛维奇 ;

高松远 ;

苏珊·特罗利尔-麦金斯特里 ;

特伦特·博尔曼 ;

朱宛琳 .

中国专利 :CN108780840A ,2018-11-09

[10]

压电薄膜元件 [P].

木村纯一 ;

井上柚华梨 .

日本专利 :CN112750941B ,2024-06-25

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