一种化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120115198.X

申请日：

2011-04-19

公开(公告)号：

CN202063992U

公开(公告)日：

2011-12-07

发明(设计)人：

王利花张淑蓉李勇

申请人：

申请人地址：

710061 陕西省西安市朱雀大街南段222号

IPC主分类号：

C23C1600

IPC分类号：

代理机构：

西安新思维专利商标事务所有限公司 61114

代理人：

李罡

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101388326974 IPC(主分类):C23C 16/00 专利号:ZL201120115198X 申请日:20110419 授权公告日:20111207 放弃生效日:20120627
2011-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN102181845A ,2011-09-14

[2]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

[3]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[4]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN107604340A ,2018-01-19

[5]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[6]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

[7]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[8]

一种化学气相沉积炉用沉积室 [P].

栾吉刚 ;

闫根程 ;

张宜杰 ;

赵启民 .

中国专利 :CN202323024U ,2012-07-11

[9]

一种化学气相沉积炉 [P].

姚栋嘉 ;

张东生 ;

李江涛 ;

吴恒 ;

刘喜宗 ;

杨超 ;

张相国 .

中国专利 :CN213538095U ,2021-06-25

[10]

一种化学气相沉积炉 [P].

江南 ;

褚伍波 ;

张军安 ;

胡付生 ;

马洪兵 .

中国专利 :CN207891423U ,2018-09-21

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