化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110097880.5

申请日：

2011-04-19

公开(公告)号：

CN102181845A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

王利花张淑蓉李勇

申请人：

申请人地址：

710061 陕西省西安市朱雀大街南段222号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

西安新思维专利商标事务所有限公司 61114

代理人：

李罡

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127325384 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2011100978805 申请日:20110419
2012-06-27	授权	授权
2011-09-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN202063992U ,2011-12-07

[2]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN107604340A ,2018-01-19

[3]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01

[4]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[5]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN114855145A ,2022-08-05

[6]

化学气相沉积炉 [P].

季历程 .

中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26

[7]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN218059190U ,2022-12-16

[8]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[9]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN104342631B ,2015-02-11

[10]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

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