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化学气相沉积炉

被引：0
申请号：
CN202221312823.4
申请日：
2022-05-17
公开(公告)号：
CN218059190U
公开(公告)日：
2022-12-16
发明(设计)人：
张余
申请人：
申请人地址：
300450 天津市滨海新区天津经济技术开发区西区中南五街92号内厂房
IPC主分类号：
C23C1644
IPC分类号：
代理机构：
北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471
代理人：
梁亚静
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-16 授权 授权
共 50 条
[1]
化学气相沉积炉 [P]. 
张余 .
中国专利 :CN114855145A ,2022-08-05
[2]
化学气相沉积炉 [P]. 
于金凤 ;
朱刘 .
中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28
[3]
化学气相沉积炉 [P]. 
季历程 .
中国专利 :CN102839361A ,2012-12-26
[4]
化学气相沉积炉 [P]. 
王利花 ;
张淑蓉 ;
李勇 .
中国专利 :CN102181845A ,2011-09-14
[5]
化学气相沉积炉 [P]. 
于金凤 ;
朱刘 .
中国专利 :CN107604340A ,2018-01-19
[6]
化学气相沉积炉 [P]. 
朱刘 ;
朱巨才 ;
于金凤 ;
吴伟平 ;
陈松 ;
李钦 .
中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15
[7]
化学气相沉积炉 [P]. 
朱刘 ;
朱巨才 ;
于金凤 ;
吴伟平 ;
陈松 ;
李钦 .
中国专利 :CN104342631B ,2015-02-11
[8]
化学气相沉积炉 [P]. 
于金凤 ;
朱刘 .
中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02
[9]
化学气相沉积炉 [P]. 
张博 .
中国专利 :CN101956183A ,2011-01-26
[10]
化学气相沉积炉 [P]. 
于金凤 ;
朱刘 .
中国专利 :CN207294881U ,2018-05-01
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