化学气相沉积炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110324989.8

申请日：

2011-10-24

公开(公告)号：

CN102839361A

公开(公告)日：

2012-12-26

发明(设计)人：

季历程

申请人：

申请人地址：

226009 江苏省南通市经济开发区中央路52号创业中心515室

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C16458 C23C1634

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101742584052 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2011103249898 申请公布日:20121226
2012-12-26	公开	公开
2014-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588322877 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2011103249898 申请日:20111024

共 50 条

[1]

化学气相沉积炉及化学气相沉积设备 [P].

朱伟杰 ;

顾志强 ;

戴建庭 ;

董宁 ;

李强 .

中国专利 :CN209522919U ,2019-10-22

[2]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209039580U ,2019-06-28

[3]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN114855145A ,2022-08-05

[4]

一种气相沉积炉 [P].

赵凤鸣 ;

赵林 .

中国专利 :CN201890928U ,2011-07-06

[5]

化学气相沉积炉 [P].

王利花 ;

张淑蓉 ;

李勇 .

中国专利 :CN102181845A ,2011-09-14

[6]

化学气相沉积炉 [P].

张余 .

中国专利 :CN218059190U ,2022-12-16

[7]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN107604340A ,2018-01-19

[8]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN203393225U ,2014-01-15

[9]

化学气相沉积炉 [P].

朱刘 ;

朱巨才 ;

于金凤 ;

吴伟平 ;

陈松 ;

李钦 .

中国专利 :CN104342631B ,2015-02-11

[10]

化学气相沉积炉 [P].

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN209052765U ,2019-07-02

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