一种高纯金属旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010493072.X

申请日：

2020-06-03

公开(公告)号：

CN111590279A

公开(公告)日：

2020-08-28

发明(设计)人：

张科曹建亮李强

申请人：

申请人地址：

350200 福建省福州市长乐区航城街道琴江村太平里169号

IPC主分类号：

B23P1500

IPC分类号：

C23C1434 C23C1435

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

赵晓琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	公开	公开
2020-09-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B23P 15/00 申请日:20200603

共 50 条

[1]

一种高纯金属钍靶材的制备方法 [P].

李腾蛟 ;

付婧 ;

李明明 ;

张志鹏 ;

潘大树 ;

夏海鸿 .

中国专利 :CN120400571A ,2025-08-01

[2]

一种高纯金属钪及其靶材的制备方法 [P].

裴皓楠 ;

薛冰欣 ;

何贵麟 ;

姜帅博 ;

黄方迪 ;

王南南 ;

王欣鹏 ;

朱艳秋 .

中国专利 :CN118880075A ,2024-11-01

[3]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[4]

一种5N级高纯金属钪靶材的制备方法 [P].

何贵麟 ;

裴皓楠 ;

姜帅博 ;

薛冰欣 ;

杨帅 ;

黄方迪 ;

王南南 .

中国专利 :CN118360505A ,2024-07-19

[5]

一种金属旋转靶材及其制备方法和应用 [P].

张科 ;

陈钦忠 ;

林志河 ;

曹建亮 .

中国专利 :CN110394603A ,2019-11-01

[6]

一种高纯钽旋转靶材及其制备方法 [P].

原慷 ;

彭浩然 ;

张鑫 ;

颜正 ;

庞小肖 ;

许贞元 ;

卢晓亮 .

中国专利 :CN113308671A ,2021-08-27

[7]

ITiO旋转靶材及其制备方法 [P].

甘志俭 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

庄猛 ;

杨斌 .

中国专利 :CN111233440A ,2020-06-05

[8]

硅旋转靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109267019A ,2019-01-25

[9]

一种Cr管旋转靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

岳万祥 ;

魏铁峰 ;

张欠男 .

中国专利 :CN117733152A ,2024-03-22

[10]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

连升 ;

孙永利 ;

张涛 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN120249898A ,2025-07-04

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