硅旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710580679.X

申请日：

2017-07-17

公开(公告)号：

CN109267019A

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

姚力军潘杰相原俊夫王学泽罗明浩章晨

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20170717
2021-12-24	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20190125
2019-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[2]

ITiO旋转靶材及其制备方法 [P].

甘志俭 ;

庄志杰 ;

诸斌 ;

庄猛 ;

杨斌 .

中国专利 :CN111233440A ,2020-06-05

[3]

一种硅锗旋转靶材的制备方法 [P].

戈金鹏 ;

韩刚库 ;

谭露晓 .

中国专利 :CN119932502A ,2025-05-06

[4]

高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法 [P].

刚爽 ;

杨晔 ;

朱永明 .

中国专利 :CN108707870A ,2018-10-26

[5]

一种硅基合金旋转靶材及其制备方法 [P].

周其刚 ;

黄德燕 ;

马敬山 .

中国专利 :CN101921988A ,2010-12-22

[6]

铝钪旋转靶材及其制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN104805406B ,2015-07-29

[7]

一种铌旋转靶材及其制备方法 [P].

周志宏 ;

肖世洪 ;

雷雨 ;

肖世文 ;

沈艳斌 ;

周昭寅 .

中国专利 :CN109518141A ,2019-03-26

[8]

旋转靶材及其制造方法 [P].

张凤戈 ;

穆健刚 ;

马志伟 ;

李建奎 ;

杨本润 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN105463390B ,2016-04-06

[9]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[10]

一种Cr管旋转靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

岳万祥 ;

魏铁峰 ;

张欠男 .

中国专利 :CN117733152A ,2024-03-22

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