一种硅锗旋转靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510131409.5

申请日：

2025-02-06

公开(公告)号：

CN119932502A

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

戈金鹏韩刚库谭露晓

申请人：

梭莱镀膜工业(江阴)有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市江阴市金山路201号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

B22F1/142 C23C4/134 C23C4/067 C23C4/16 C23C4/18 C22C28/00

代理机构：

北京知创宏信知识产权代理有限公司 51350

代理人：

孙晓娟

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	公开	公开
2025-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20250206

共 50 条

[1]

硅旋转靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109267019A ,2019-01-25

[2]

高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法 [P].

刚爽 ;

杨晔 ;

朱永明 .

中国专利 :CN108707870A ,2018-10-26

[3]

一种绑定式硅旋转靶材的制备方法 [P].

张步晓 ;

张宁 ;

李政 .

中国专利 :CN104746029A ,2015-07-01

[4]

一种硅基合金旋转靶材及其制备方法 [P].

周其刚 ;

黄德燕 ;

马敬山 .

中国专利 :CN101921988A ,2010-12-22

[5]

一种铬旋转靶材的制备方法 [P].

黄宇彬 ;

童培云 .

中国专利 :CN116213703B ,2025-03-28

[6]

一种铝旋转靶材的制备方法 [P].

张玉玲 ;

张剑 ;

陈荣华 .

中国专利 :CN120505593A ,2025-08-19

[7]

一种Cd旋转靶材的制备方法 [P].

余飞 ;

黄宇彬 ;

文崇斌 ;

童培云 .

中国专利 :CN117702060B ,2025-10-17

[8]

一种Cd旋转靶材的制备方法 [P].

余飞 ;

黄宇彬 ;

文崇斌 ;

童培云 .

中国专利 :CN117702060A ,2024-03-15

[9]

一种旋转硅铬靶材制备方法 [P].

石煜 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

马建保 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113862621A ,2021-12-31

[10]

一种旋转靶材的制备方法 [P].

沈文兴 ;

白平平 ;

童培云 .

中国专利 :CN113463043A ,2021-10-01

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