一种旋转硅铬靶材制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111092151.0

申请日：

2021-09-17

公开(公告)号：

CN113862621A

公开(公告)日：

2021-12-31

发明(设计)人：

石煜曾墩风王志强马建保盛明亮

申请人：

申请人地址：

241009 安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C402 C23C4067 C23C408 C23C4131 C23C4134 C23C4137 C23C416 C23C418

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

杨静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210917
2021-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅铬旋转溅射靶材及其制备方法 [P].

石煜 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

马建保 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113897585B ,2022-01-07

[2]

一种旋转硅镁合金靶材及其制备方法 [P].

陈钦忠 ;

张科 ;

林志河 .

中国专利 :CN105506564A ,2016-04-20

[3]

一种硅铝靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

孙永利 ;

余恒飞 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN119061347B ,2025-11-21

[4]

一种硅铝靶材及其制备方法 [P].

刘亚凡 ;

孙永利 ;

余恒飞 ;

文崇斌 ;

张文涛 ;

童培云 .

中国专利 :CN119061347A ,2024-12-03

[5]

高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法 [P].

刚爽 ;

杨晔 ;

朱永明 .

中国专利 :CN108707870A ,2018-10-26

[6]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[7]

硅旋转靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

罗明浩 ;

章晨 .

中国专利 :CN109267019A ,2019-01-25

[8]

一种导电氧化锆旋转靶材及其制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN104451582A ,2015-03-25

[9]

一种硅锗旋转靶材的制备方法 [P].

戈金鹏 ;

韩刚库 ;

谭露晓 .

中国专利 :CN119932502A ,2025-05-06

[10]

一种硅铝靶材及其制备方法 [P].

文崇斌 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN116904911B ,2025-10-17

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