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一种旋转靶材的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110646193.8
申请日：
2021-06-09
公开(公告)号：
CN113463043A
公开(公告)日：
2021-10-01
发明(设计)人：
沈文兴
白平平
童培云
申请人：
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
IPC主分类号：
C23C1434
IPC分类号：
C23C1435
B22D1900
B22D2704
B22D2700
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
颜希文
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210609 |
| 2021-10-01 | 公开 | 公开 |