一种导电有机旋转靶材及靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110540099.4

申请日：

2021-05-18

公开(公告)号：

CN113249695A

公开(公告)日：

2021-08-13

发明(设计)人：

徐从康周曼曼贺涛

申请人：

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市柯桥区华舍街道大西庄村2幢

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

B05D304 B05D308 B05D312 B05D714

代理机构：

绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285

代理人：

陈泽元

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20210518
2021-08-13	公开	公开

共 50 条

[1]

铝钪旋转靶材及其制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN104805406B ,2015-07-29

[2]

铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN104831244A ,2015-08-12

[3]

旋转靶材、旋转靶材的绑定方法和装置 [P].

陈宝忠 ;

徐国军 ;

万捷 ;

张蛟 .

中国专利 :CN111778486A ,2020-10-16

[4]

旋转靶材 [P].

吴益升 .

中国专利 :CN107663630A ,2018-02-06

[5]

旋转靶材 [P].

张凤戈 ;

穆健刚 ;

马志伟 ;

李建奎 ;

杨本润 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN204281849U ,2015-04-22

[6]

一种铜旋转靶材的制备方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 ;

文崇斌 ;

白平平 .

中国专利 :CN111455371B ,2020-07-28

[7]

一种导电TeOX旋转靶材及其制备方法 [P].

吴彩红 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113666717A ,2021-11-19

[8]

旋转靶材制备设备 [P].

黄宇彬 ;

阿南·辛格·迪欧达特 ;

谭继军 ;

谭建林 ;

文崇斌 ;

朱刘 .

中国专利 :CN108193180B ,2018-06-22

[9]

一种旋转靶材的制备方法 [P].

沈文兴 ;

白平平 ;

童培云 .

中国专利 :CN113463043A ,2021-10-01

[10]

一种铝钽旋转靶材及其制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN110184502A ,2019-08-30

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