一种铝钽旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910201834.1

申请日：

2019-03-18

公开(公告)号：

CN110184502A

公开(公告)日：

2019-08-30

发明(设计)人：

徐从康

申请人：

申请人地址：

215500 江苏省苏州市常熟市经济技术开发区四海路11号科创园

IPC主分类号：

C22C2100

IPC分类号：

C23C2404 C23C4134 C23C408 C23C2802 C23C1434

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C22C 21/00 申请日:20190318
2019-08-30	公开	公开
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C22C 21/00 申请公布日:20190830

共 50 条

[1]

铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN104831244A ,2015-08-12

[2]

铝钪旋转靶材及其制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN104805406B ,2015-07-29

[3]

一种高纯钽旋转靶材及其制备方法 [P].

原慷 ;

彭浩然 ;

张鑫 ;

颜正 ;

庞小肖 ;

许贞元 ;

卢晓亮 .

中国专利 :CN113308671A ,2021-08-27

[4]

一种铝基旋转靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

魏铁峰 ;

岳万祥 ;

张欠男 ;

张学华 ;

孟晓亭 ;

施政 ;

郭桦帅 .

中国专利 :CN118951026A ,2024-11-15

[5]

一种氧化钽旋转溅射靶材及其制备方法 [P].

石煜 ;

曾墩风 ;

马建保 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN117604468A ,2024-02-27

[6]

一种氧化铌旋转靶材及其制备方法 [P].

扈百直 ;

胥小勇 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

赵清慧 ;

马文卫 ;

马建保 ;

杨小林 ;

胡海霞 .

中国专利 :CN103045995A ,2013-04-17

[7]

一种氧化镍旋转靶材及其制备方法 [P].

官凌宇 ;

李强 ;

林智成 ;

纪生晓 ;

杨涛 ;

邱用雪 .

中国专利 :CN121085615A ,2025-12-09

[8]

一种导电有机旋转靶材及靶材的制备方法 [P].

徐从康 ;

周曼曼 ;

贺涛 .

中国专利 :CN113249695A ,2021-08-13

[9]

一种旋转铌靶材及其制备方法 [P].

罗永春 ;

胥小勇 ;

石煜 ;

曾墩风 ;

王志强 ;

雷雨 ;

江涛 .

中国专利 :CN107130216A ,2017-09-05

[10]

一种铝旋转靶材的制备方法 [P].

张玉玲 ;

张剑 ;

陈荣华 .

中国专利 :CN120505593A ,2025-08-19

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