旋转靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420525878.2

申请日：

2014-09-12

公开(公告)号：

CN204281849U

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

张凤戈穆健刚马志伟李建奎杨本润刘健陈鹏

申请人：

申请人地址：

100081 北京市海淀区学院南路76号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387

代理人：

刘春成;荣红颖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转靶材 [P].

吴益升 .

中国专利 :CN107663630A ,2018-02-06

[2]

磁控溅射旋转靶材 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 .

中国专利 :CN204224696U ,2015-03-25

[3]

一种旋转靶材 [P].

覃洪高 ;

李明麟 ;

姚佳伟 ;

肖敏毅 ;

冯冬发 .

中国专利 :CN218372490U ,2023-01-24

[4]

一种旋转靶材 [P].

臧龙杰 ;

周俊荣 ;

齐东淼 ;

沈雷振 ;

曾静 .

中国专利 :CN217378016U ,2022-09-06

[5]

旋转靶材成型模具 [P].

曾探 ;

王志强 ;

石煜 ;

曾墩风 ;

罗永春 .

中国专利 :CN206140664U ,2017-05-03

[6]

一种旋转靶材 [P].

常代展 ;

王雷 .

中国专利 :CN208121190U ,2018-11-20

[7]

旋转靶材装配工装 [P].

陈超 ;

刘富 .

中国专利 :CN214327864U ,2021-10-01

[8]

磁控型旋转靶材 [P].

池永奎 ;

陈超 ;

温泉 ;

肖平 ;

张云 ;

陆少春 .

中国专利 :CN222349107U ,2025-01-14

[9]

一种旋转靶材 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

侯娟华 ;

王学泽 .

中国专利 :CN223357730U ,2025-09-19

[10]

旋转靶材芯轴机构 [P].

曾墩风 ;

罗永春 ;

石煜 ;

罗文富 .

中国专利 :CN204387313U ,2015-06-10

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