旋转靶材芯轴机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520009628.8

申请日：

2015-01-08

公开(公告)号：

CN204387313U

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

曾墩风罗永春石煜罗文富

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市同安区苏厝路73号1#厂房第一层

IPC主分类号：

F16J1512

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218

代理人：

方惠春

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-10	授权	授权
2017-03-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101706058049 IPC(主分类):F16J 15/12 专利号:ZL2015200096288 申请日:20150108 授权公告日:20150610 终止日期:20160108

共 50 条

[1]

一种旋转靶材芯轴机构 [P].

曾墩风 ;

罗永春 ;

王志强 ;

张斐 .

中国专利 :CN204325483U ,2015-05-13

[2]

旋转靶材 [P].

张凤戈 ;

穆健刚 ;

马志伟 ;

李建奎 ;

杨本润 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN204281849U ,2015-04-22

[3]

一种旋转靶材转运机构 [P].

王志强 ;

曾墩风 ;

罗文富 ;

曾青云 .

中国专利 :CN204568850U ,2015-08-19

[4]

旋转靶材 [P].

吴益升 .

中国专利 :CN107663630A ,2018-02-06

[5]

一种旋转靶材加工支撑芯棒 [P].

姚远 ;

王屹波 ;

蒋一昌 ;

杜宝珩 ;

张启华 ;

马闯 ;

于林林 ;

赵丽媛 .

中国专利 :CN220312525U ,2024-01-09

[6]

磁控溅射旋转靶材 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 .

中国专利 :CN204224696U ,2015-03-25

[7]

一种喷涂旋转靶材旋转牵引机构 [P].

吴智良 .

中国专利 :CN214515460U ,2021-10-29

[8]

一种真空喷涂旋转靶材的行走机构 [P].

罗建冬 .

中国专利 :CN203862461U ,2014-10-08

[9]

一种旋转靶材脱脂装置 [P].

胡茂横 .

中国专利 :CN210632942U ,2020-05-29

[10]

一种旋转靶材绑定设备 [P].

刘文杰 ;

鲁统伟 ;

余芳 ;

张文涛 .

中国专利 :CN221320070U ,2024-07-12

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