磁控溅射旋转靶材

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420677388.4

申请日：

2014-11-13

公开(公告)号：

CN204224696U

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

黄勇彪林文宝

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区西乡街道固戍航城大道广豪锋科技园D栋九楼南

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314

代理人：

林俭良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	授权	授权
2019-11-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20141113 授权公告日:20150325 终止日期:20181113

共 50 条

[1]

旋转靶材及磁控溅射装置 [P].

任丹丹 ;

朱成顺 ;

蒋雷 .

中国专利 :CN212894948U ,2021-04-06

[2]

绑定式磁控溅射旋转靶材 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN205473965U ,2016-08-17

[3]

冷绑定式磁控溅射旋转靶材 [P].

周昭宇 ;

周志宏 .

中国专利 :CN214881801U ,2021-11-26

[4]

磁控溅射旋转靶 [P].

肖世文 .

中国专利 :CN203741407U ,2014-07-30

[5]

一种磁控溅射旋转靶材 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN114737160A ,2022-07-12

[6]

磁控溅射旋转靶材的绑定方法 [P].

杨晔 .

中国专利 :CN110218983A ,2019-09-10

[7]

磁控溅射孪生旋转靶材的气体供应装置 [P].

李爽 ;

沈晓磊 ;

许磊 .

中国专利 :CN204714888U ,2015-10-21

[8]

绑定式磁控溅射旋转靶材及其制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN105624627A ,2016-06-01

[9]

旋转靶柱型磁控溅射器 [P].

王德苗 ;

任高潮 .

中国专利 :CN2301452Y ,1998-12-23

[10]

一种磁控溅射旋转靶 [P].

刘佩杰 .

中国专利 :CN215887211U ,2022-02-22

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