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一种磁控溅射旋转靶材
被引：0
申请号：
CN202110018161.3
申请日：
2021-01-07
公开(公告)号：
CN114737160A
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
黄信二
申请人：
申请人地址：
341000 江西省赣州市经济技术开发区香港工业园北区标准厂房6栋
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
南昌金轩知识产权代理有限公司 36129
代理人：
文珊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 公开 | 公开 |