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一种磁控溅射旋转靶
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220208554.7
申请日：
2012-05-10
公开(公告)号：
CN202595261U
公开(公告)日：
2012-12-12
发明(设计)人：
宋光耀
李毅
刘志斌
翟宇宁
申请人：
申请人地址：
518029 广东省深圳市福田区深南大道与金田路交界西南路深圳国际交易广场2112-2116室
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
代理机构：
深圳市毅颖专利商标事务所 44233
代理人：
张艺影;李奕晖
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-15 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20120510 授权公告日:20121212 终止日期:20210510 |
| 2012-12-12 | 授权 | 授权 |