旋转靶材装配工装

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120426836.3

申请日：

2021-02-26

公开(公告)号：

CN214327864U

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

陈超刘富

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区南汇新城镇倚天路555号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1432

代理机构：

北京市万慧达律师事务所 11111

代理人：

刘锋;邱忠贶

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射旋转靶材磁条磁棒装配工装 [P].

陈志伟 ;

蔡勇定 ;

张振波 ;

张清江 ;

严毅龙 .

中国专利 :CN220863838U ,2024-04-30

[2]

旋转靶材 [P].

张凤戈 ;

穆健刚 ;

马志伟 ;

李建奎 ;

杨本润 ;

刘健 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN204281849U ,2015-04-22

[3]

用于旋转靶材的定位驱转工装和旋转靶材倒角装置 [P].

周昭宇 ;

周志宏 ;

李世荣 ;

雷雨 .

中国专利 :CN216504130U ,2022-05-13

[4]

旋转靶材清洁工装 [P].

姚力军 ;

丁向前 ;

王青松 .

中国专利 :CN118045802A ,2024-05-17

[5]

一种旋转靶材检测工装 [P].

陈钦忠 ;

林志河 ;

王尚镇 ;

沈成堂 .

中国专利 :CN206488732U ,2017-09-12

[6]

一种旋转靶材浇铸工装 [P].

陈钦忠 ;

张科 ;

林志河 .

中国专利 :CN205347564U ,2016-06-29

[7]

装配工装 [P].

余金钢 ;

张云凯 ;

彭明亮 ;

陈澄 ;

蒋平安 ;

沈卫东 ;

雷体平 .

中国专利 :CN220362174U ,2024-01-19

[8]

旋转靶材 [P].

吴益升 .

中国专利 :CN107663630A ,2018-02-06

[9]

磁控溅射旋转靶材 [P].

黄勇彪 ;

林文宝 .

中国专利 :CN204224696U ,2015-03-25

[10]

尾门旋转装配工装 [P].

王一川 ;

李金龙 ;

李鹏 ;

詹妮 .

中国专利 :CN208290498U ,2018-12-28

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