一种含氘金属薄膜靶的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710017958.5

申请日：

2017-01-11

公开(公告)号：

CN106544628B

公开(公告)日：

2017-03-29

发明(设计)人：

王韬龙继东黄刚杨振蓝朝晖向军彭宇飞刘平刘尔祥吕璐

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市绵山路64号

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1406 C23C1435 C23C1402

代理机构：

成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220

代理人：

王记明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-29	公开	公开
2019-09-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种制备铟靶材金属薄膜的方法 [P].

黄信二 .

中国专利 :CN102925868B ,2013-02-13

[2]

一种独立金属薄膜制备方法及金属薄膜 [P].

龚国华 ;

何江 .

中国专利 :CN109136846A ,2019-01-04

[3]

一种柔性金属铜薄膜的制备方法 [P].

赵荣荣 ;

陈同来 ;

柳伟 .

中国专利 :CN110718316A ,2020-01-21

[4]

一种含Ag金属复合薄膜及其制备方法 [P].

吉小超 ;

康越 ;

刘凯峰 ;

马天 ;

李伟 ;

魏慧琳 .

中国专利 :CN112647051A ,2021-04-13

[5]

一种利用金属薄膜吸附脱附处理废气的方法 [P].

汪洋 .

中国专利 :CN101011653A ,2007-08-08

[6]

一种金属薄膜沉积方法及金属薄膜 [P].

刘孟杰 ;

陈杰 ;

武彪 ;

郭伟贵 ;

安钊 ;

王光月 ;

张祥 .

中国专利 :CN120924910A ,2025-11-11

[7]

一种金属薄膜制备方法 [P].

江奕天 ;

李星星 ;

张兴旺 ;

张昕 ;

张玲 .

中国专利 :CN114086134A ,2022-02-25

[8]

金属薄膜的制备方法 [P].

康晓旭 .

中国专利 :CN115148597A ,2022-10-04

[9]

制备金属薄膜的方法 [P].

郑光春 ;

赵显南 ;

柳志勋 ;

白宰昊 ;

金幼成 .

中国专利 :CN102326211B ,2012-01-18

[10]

一种有机-金属薄膜的制备方法 [P].

赵九蓬 ;

杨宇 ;

李垚 ;

徐洪波 .

中国专利 :CN104650123A ,2015-05-27

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