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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-08 | 著录事项变更 | 著录事项变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101098706613 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2010101430494 变更事项:发明人 变更前:王开鹰;董涛;刘国华;何勇;张明明;苏岩;施芹 变更后:王开鹰;董涛;刘国华;张磊;何勇;张明明;苏岩;施芹 |
| 2012-05-23 | 授权 | 授权 |
| 2010-08-25 | 公开 | 公开 |
| 2010-10-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101007483985 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2010101430494 申请日:20100409 |