等离子体控制系统以及等离子体控制系统用程序

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980020153.3

申请日：

2019-03-15

公开(公告)号：

CN111886936A

公开(公告)日：

2020-11-03

发明(设计)人：

岩苔翼

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市右京区梅津高亩町47番地

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

C23C16505

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

马爽;臧建明

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20190315
2020-11-03	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体控制系统及等离子体控制程序 [P].

岩苔翼 ;

岸田茂明 .

中国专利 :CN114080864A ,2022-02-22

[2]

等离子体控制系统及等离子体控制程序产品 [P].

岩苔翼 ;

岸田茂明 .

日本专利 :CN114080864B ,2024-08-06

[3]

精密等离子体控制系统 [P].

迪麦西·津巴 ;

肯尼斯·米勒 ;

詹姆斯·普拉格 ;

凯文·马格利 ;

埃里克·汉森 .

中国专利 :CN114144860A ,2022-03-04

[4]

精密等离子体控制系统 [P].

迪麦西·津巴 ;

肯尼斯·米勒 ;

詹姆斯·普拉格 ;

凯文·马格利 ;

埃里克·汉森 .

美国专利 :CN114144860B ,2025-07-25

[5]

等离子体探针测量控制系统 [P].

温建华 ;

潘俏凤 ;

温可颖 .

中国专利 :CN107462767A ,2017-12-12

[6]

等离子体探针测量控制系统 [P].

温建华 ;

潘俏凤 ;

温可颖 .

中国专利 :CN207366633U ,2018-05-15

[7]

等离子体控制方法及等离子体控制装置 [P].

下泽慎 .

中国专利 :CN101835338A ,2010-09-15

[8]

等离子体控制方法及等离子体控制装置 [P].

下泽慎 .

中国专利 :CN1783429A ,2006-06-07

[9]

等离子体控制 [P].

伊兰·奥列格·乌奇特尔 ;

包里斯·科根 .

:CN117769397A ,2024-03-26

[10]

一种微波等离子体控制系统 [P].

何磊 ;

李俊宏 ;

李家瑞 ;

韦明勉 ;

邱银娟 ;

李东亚 .

中国专利 :CN117279181B ,2024-09-24

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