一种晶圆尺寸测量系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120164529.2

申请日：

2021-01-21

公开(公告)号：

CN214039886U

公开(公告)日：

2021-08-24

发明(设计)人：

张家政胡昌显吴少芳

申请人：

申请人地址：

361000 福建省厦门市湖里区长乐路350号闽南古镇A部4层091单元

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

G01B1106 G01B1124 G01B1116

代理机构：

代理人：

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多片晶圆尺寸测量设备 [P].

张家政 ;

胡昌显 ;

王振华 .

中国专利 :CN218066306U ,2022-12-16

[2]

一种晶圆表面瑕疵检测系统 [P].

张家政 ;

胡昌显 ;

吴少芳 .

中国专利 :CN214201237U ,2021-09-14

[3]

一种尺寸测量装置及尺寸测量系统 [P].

邓勇 .

中国专利 :CN210374997U ,2020-04-21

[4]

一种尺寸测量装置、尺寸测量方法及尺寸测量系统 [P].

邓勇 .

中国专利 :CN110553589A ,2019-12-10

[5]

一种晶圆产品尺寸测量仪 [P].

卜志超 ;

程司军 ;

马明阳 ;

吴怡平 ;

陈跃华 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN223425927U ,2025-10-10

[6]

一种通过式物件尺寸测量系统 [P].

刘国勇 ;

陈东升 .

中国专利 :CN207585539U ,2018-07-06

[7]

一种正面尺寸测量系统 [P].

吕波 .

中国专利 :CN213021565U ,2021-04-20

[8]

一种晶圆厚度测量系统 [P].

简益升 ;

娄中华 ;

王丹 ;

李洋 .

中国专利 :CN216620926U ,2022-05-27

[9]

一种汽车整车尺寸测量系统 [P].

赖红杜 .

中国专利 :CN206459615U ,2017-09-01

[10]

一种标准试样尺寸测量系统 [P].

吴博 ;

庞承焕 ;

程春锋 ;

李卫领 ;

肖星 .

中国专利 :CN212082286U ,2020-12-04

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