辐射传感器及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201980079106.6
申请日
2019-11-29
公开(公告)号
CN113261115A
公开(公告)日
2021-08-13
发明(设计)人
H·高特罗布 M·施密特 C·戈鲍尔
申请人
申请人地址
德国海尔布隆市
IPC主分类号
H01L310203
IPC分类号
H01L310232 H01L3110 H01L31102
代理机构
北京市中伦律师事务所 11410
代理人
钟锦舜;姜香丹
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻设备与辐射传感器及辐射传感器制造方法 [P]. 
海柯·V·柯克 ;
阿里西·J·范德西斯 .
中国专利 :CN101109908A ,2008-01-23
[2]
辐射传感器、晶片、传感器模块和用于制造辐射传感器的方法 [P]. 
马丁·豪斯纳 ;
于尔根·席尔茨 ;
弗瑞德·普洛茨 ;
赫尔曼·卡拉格左克鲁 .
中国专利 :CN1784355A ,2006-06-07
[3]
电磁辐射传感器及其制造方法 [P]. 
M·利热 .
中国专利 :CN102326255B ,2012-01-18
[4]
辐射传感器 [P]. 
大卫·米尼基利 ;
米歇尔·托尼奥 ;
弗里德里希·弗里德尔 .
中国专利 :CN107438900A ,2017-12-05
[5]
辐射传感器 [P]. 
E·芬德莱 .
中国专利 :CN102538955A ,2012-07-04
[6]
辐射传感器 [P]. 
T·J·克雷尔纳 ;
P·J·斯特劳布 ;
R·特威尼 .
中国专利 :CN101196423A ,2008-06-11
[7]
辐射传感器 [P]. 
E·芬德雷 .
中国专利 :CN103314281A ,2013-09-18
[8]
辐射传感器 [P]. 
L·E·安托努克 .
中国专利 :CN107425020A ,2017-12-01
[9]
辐射传感器 [P]. 
C·J·阿尔德 .
中国专利 :CN1054946C ,1996-08-07
[10]
传感器装置及其制造方法、运动传感器及其制造方法 [P]. 
大槻哲也 .
中国专利 :CN102192732A ,2011-09-21