基于微机电系统装置的薄膜致动器及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480032949.4

申请日：

2004-09-09

公开(公告)号：

CN1910109A

公开(公告)日：

2007-02-07

发明(设计)人：

乔基姆·奥伯哈默戈兰·施泰姆

申请人：

申请人地址：

瑞典斯德哥尔摩

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81B702 H01H100 H01H5900

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

肖春京

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-02-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101066678723 IPC(主分类):B81B 3/00 专利申请号:2004800329494 公开日:20070207
2007-02-07	公开	公开

共 50 条

[1]

微机电系统致动器 [P].

李宥纁 .

中国专利 :CN222989789U ,2025-06-17

[2]

压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备 [P].

D·朱斯蒂 ;

C·L·佩瑞里尼 .

中国专利 :CN109987574A ,2019-07-09

[3]

基于微机电系统的装置的高速静电致动 [P].

A.潘塔齐 ;

C.波齐迪斯 ;

D.R.萨胡 ;

A.塞巴斯蒂安 .

中国专利 :CN102317998B ,2012-01-11

[4]

微机电系统致动器结构的冲击锁定特征 [P].

刘晓蕾 ;

M·伍 ;

R·卡尔维特 ;

G·莫拉比托 .

中国专利 :CN109496200B ,2019-03-19

[5]

微机电系统致动器和电子系统 [P].

A·奥普雷尼 ;

V·泽加 ;

A·弗兰吉 ;

G·加特瑞 ;

M·里亚尼 .

:CN220520143U ,2024-02-23

[6]

扬声器以及其微机电致动器 [P].

蒋铠宇 ;

陈振颐 ;

李帅 .

中国专利 :CN109618268B ,2019-04-12

[7]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN213280087U ,2021-05-25

[8]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN112954558A ,2021-06-11

[9]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN112954558B ,2025-01-17

[10]

具有致动器的微机电系统 [P].

M·T·约翰逊 ;

M·F·吉利斯 ;

M·W·G·庞杰 ;

J·M·J·登图恩德 ;

R·范迪克 .

中国专利 :CN101568872A ,2009-10-28

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