微机电系统致动器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421821773.1

申请日：

2024-07-30

公开(公告)号：

CN222989789U

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

李宥纁

申请人：

台湾积体电路制造股份有限公司

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

B81B3/00

IPC分类号：

B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

微机电系统致动器和电子系统 [P].

A·奥普雷尼 ;

V·泽加 ;

A·弗兰吉 ;

G·加特瑞 ;

M·里亚尼 .

:CN220520143U ,2024-02-23

[2]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN213280087U ,2021-05-25

[3]

微机电系统致动器结构的冲击锁定特征 [P].

刘晓蕾 ;

M·伍 ;

R·卡尔维特 ;

G·莫拉比托 .

中国专利 :CN109496200B ,2019-03-19

[4]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN112954558A ,2021-06-11

[5]

力反馈致动器和微机电系统电容换能器 [P].

M·纳瓦扎 ;

S·C·汤普森 ;

M·佩德森 ;

P·洛佩特 ;

Z·斯比亚 .

中国专利 :CN112954558B ,2025-01-17

[6]

压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备 [P].

D·朱斯蒂 ;

C·L·佩瑞里尼 .

中国专利 :CN109987574A ,2019-07-09

[7]

压电型微机电致动器设备 [P].

D·朱斯蒂 ;

A·艾乐桑德利 .

中国专利 :CN207891042U ,2018-09-21

[8]

基于微机电系统装置的薄膜致动器及其方法 [P].

乔基姆·奥伯哈默 ;

戈兰·施泰姆 .

中国专利 :CN1910109A ,2007-02-07

[9]

微机械静电致动器 [P].

木原竜儿 .

中国专利 :CN1661902A ,2005-08-31

[10]

用于实现高的力及偏斜的具有微机械压电致动器的微机电系统 [P].

费比安·施托普佩尔 ;

伯恩哈德·瓦格纳 .

中国专利 :CN107005769B ,2017-08-01

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