用于实现高的力及偏斜的具有微机械压电致动器的微机电系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201580060521.9
申请日
2015-09-03
公开(公告)号
CN107005769B
公开(公告)日
2017-08-01
发明(设计)人
费比安·施托普佩尔 伯恩哈德·瓦格纳
申请人
申请人地址
德国慕尼黑
IPC主分类号
H04R1700
IPC分类号
代理机构
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201
代理人
宋融冰
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
微机电系统致动器 [P]. 
李宥纁 .
中国专利 :CN222989789U ,2025-06-17
[2]
压电型微机电致动器装置和集成微机电致动器装置的设备 [P]. 
D·朱斯蒂 ;
C·L·佩瑞里尼 .
中国专利 :CN109987574A ,2019-07-09
[3]
基于压电的微机电透镜致动系统 [P]. 
艾伦·迈克 ;
郭志义 .
中国专利 :CN103180239B ,2013-06-26
[4]
具有机械致动器的微机械装置 [P]. 
霍尔格·康拉德 ;
马蒂厄·高德特 ;
哈拉尔德·申克 ;
塞巴斯蒂安·乌利希 .
中国专利 :CN110475971A ,2019-11-19
[5]
具有致动器的微机电系统 [P]. 
M·T·约翰逊 ;
M·F·吉利斯 ;
M·W·G·庞杰 ;
J·M·J·登图恩德 ;
R·范迪克 .
中国专利 :CN101568872A ,2009-10-28
[6]
微机械致动器设备和用于使微机械致动器设备翻转的方法 [P]. 
B·施托伊尔 ;
R·施特劳布 ;
S·平特 ;
F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 ;
J·穆霍 .
中国专利 :CN108027506A ,2018-05-11
[7]
压电致动器和微机电器件 [P]. 
川久保隆 ;
长野利彦 ;
阿部和秀 ;
西垣亨彦 .
中国专利 :CN1750380A ,2006-03-22
[8]
压电型微机电致动器设备 [P]. 
D·朱斯蒂 ;
A·艾乐桑德利 .
中国专利 :CN207891042U ,2018-09-21
[9]
微机电系统致动器结构的冲击锁定特征 [P]. 
刘晓蕾 ;
M·伍 ;
R·卡尔维特 ;
G·莫拉比托 .
中国专利 :CN109496200B ,2019-03-19
[10]
微机电系统装置、压电致动器、以及超声波电机 [P]. 
山田大介 ;
平井荣树 ;
小西晃雄 .
中国专利 :CN107546320A ,2018-01-05