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基于光谱共焦的高精度面形测量方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110327881.8
申请日：
2021-03-26
公开(公告)号：
CN113029032B
公开(公告)日：
2021-06-25
发明(设计)人：
段吉安
罗志
刘蕾
申请人：
申请人地址：
410000 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
IPC主分类号：
G01B1124
IPC分类号：
代理机构：
长沙轩荣专利代理有限公司 43235
代理人：
李崇章
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20210326 |
| 2022-04-01 | 授权 | 授权 |
| 2021-06-25 | 公开 | 公开 |