基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811013535.7

申请日：

2018-08-31

公开(公告)号：

CN109163662A

公开(公告)日：

2019-01-08

发明(设计)人：

段发阶傅骁黄婷婷马凌张聪程沁蕊

申请人：

申请人地址：

300072 天津市南开区卫津路92号

IPC主分类号：

G01B1102

IPC分类号：

代理机构：

天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201

代理人：

刘国威

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20180831
2019-01-08	公开	公开
2021-03-19	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B 11/02 申请公布日:20190108

共 50 条

[1]

基于波长扫描的光谱共焦位移测量装置 [P].

段发阶 ;

傅骁 ;

黄婷婷 ;

马凌 ;

张聪 ;

程沁蕊 .

中国专利 :CN208721004U ,2019-04-09

[2]

基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

刘昌华 ;

贾建禄 .

中国专利 :CN119354064B ,2025-03-18

[3]

基于波长调制的光谱共焦位移测量系统及测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

刘昌华 ;

贾建禄 .

中国专利 :CN119354064A ,2025-01-24

[4]

一种光谱共焦的面阵位移测量装置、测量方法及标定方法 [P].

谢勇 ;

许永童 ;

马路明 ;

孙城林 ;

黄春志 .

中国专利 :CN114018157A ,2022-02-08

[5]

基于随机结构掩膜色散探头的光谱共焦位移测量装置及方法 [P].

向进 ;

吴青洪 ;

钞红晓 ;

王东颖 ;

曹志元 ;

何川 .

中国专利 :CN120593627A ,2025-09-05

[6]

光谱共焦测量装置及测量方法 [P].

王锦峰 ;

罗媛 ;

何京 ;

寇冠中 .

中国专利 :CN111879239B ,2020-11-03

[7]

基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 .

中国专利 :CN119394192B ,2025-03-07

[8]

基于外差干涉的光谱共焦位移测量系统及其测量方法 [P].

王之一 ;

冯晓鹏 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 .

中国专利 :CN119394192A ,2025-02-07

[9]

一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法 [P].

刘涛 ;

杨树明 ;

刘强 ;

蒋庄德 ;

王通 .

中国专利 :CN106767431B ,2017-05-31

[10]

光谱共焦位移和色差测量装置 [P].

朱登宝 ;

刘柱 ;

植亮亮 ;

朱莎 .

中国专利 :CN222733533U ,2025-04-08

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