基于随机结构掩膜色散探头的光谱共焦位移测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510632019.6

申请日：

2025-05-16

公开(公告)号：

CN120593627A

公开(公告)日：

2025-09-05

发明(设计)人：

向进吴青洪钞红晓王东颖曹志元何川

申请人：

重庆大学

申请人地址：

400044 重庆市沙坪坝区正街174号

IPC主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/24

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

袁晓哲

法律状态：

公开

国省代码：

重庆市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-05	公开	公开
2025-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20250516

共 50 条

[1]

基于波长扫描的光谱共焦位移测量装置 [P].

段发阶 ;

傅骁 ;

黄婷婷 ;

马凌 ;

张聪 ;

程沁蕊 .

中国专利 :CN208721004U ,2019-04-09

[2]

基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置 [P].

段发阶 ;

傅骁 ;

黄婷婷 ;

马凌 ;

张聪 ;

程沁蕊 .

中国专利 :CN109163662A ,2019-01-08

[3]

基于色散补偿的两级色散物镜设计方法、两级色散物镜及光谱共焦位移测量系统 [P].

李春艳 ;

刘继红 ;

魏凯凯 ;

赵晓龙 ;

秦宇畅 ;

鲁瑞欣 ;

康宇栋 .

中国专利 :CN120908997A ,2025-11-07

[4]

光谱共焦测量装置及测量方法 [P].

王锦峰 ;

罗媛 ;

何京 ;

寇冠中 .

中国专利 :CN111879239B ,2020-11-03

[5]

一种光谱共焦的面阵位移测量装置、测量方法及标定方法 [P].

谢勇 ;

许永童 ;

马路明 ;

孙城林 ;

黄春志 .

中国专利 :CN114018157A ,2022-02-08

[6]

光谱共焦位移和色差测量装置 [P].

朱登宝 ;

刘柱 ;

植亮亮 ;

朱莎 .

中国专利 :CN222733533U ,2025-04-08

[7]

基于双探头光谱共焦位移传感器的油墨厚度测量装置 [P].

邓鹏 .

中国专利 :CN222317974U ,2025-01-07

[8]

基于径向GRIN透镜的光谱共焦色散物镜 [P].

李春艳 ;

刘继红 ;

李可 ;

吕政 ;

李丹琳 ;

刘畅 .

中国专利 :CN115752252B ,2025-05-30

[9]

基于超表面的光谱共焦位移测量方法、装置及存储介质 [P].

卢文龙 ;

吴运权 .

中国专利 :CN118654579B ,2024-11-08

[10]

基于超表面的光谱共焦位移测量方法、装置及存储介质 [P].

卢文龙 ;

吴运权 .

中国专利 :CN118654579A ,2024-09-17

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