一种晶圆切割机用定位装置

被引:0
申请号
CN202220289257.3
申请日
2022-02-14
公开(公告)号
CN217346123U
公开(公告)日
2022-09-02
发明(设计)人
卢成义 罗葵
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市苏州工业园区科能路18号维纳阳光花园49幢111室
IPC主分类号
B28D500
IPC分类号
B28D704 B28D700
代理机构
无锡科嘉知信专利代理事务所(普通合伙) 32515
代理人
陈颖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种激光晶圆切割机定位装置 [P]. 
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[2]
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[3]
一种切割机用切割定位装置 [P]. 
钮勤军 .
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[4]
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田美怡 ;
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[6]
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[7]
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[8]
一种高精度晶圆切割定位装置及晶圆切割机 [P]. 
魏长斌 ;
崔富广 ;
杜飞 .
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[9]
晶圆切割机 [P]. 
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[10]
一种晶圆切割机料框夹持装置及晶圆切割机 [P]. 
路崧 ;
王瑾 ;
曹锋 ;
刘育明 ;
李剑锋 ;
周成全 ;
刘正锋 ;
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中国专利 :CN211662379U ,2020-10-13