一种延长靶材寿命的处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010259397.1

申请日：

2020-04-03

公开(公告)号：

CN111270211A

公开(公告)日：

2020-06-12

发明(设计)人：

姚力军潘杰边逸军王学泽章丽娜

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200403
2020-06-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种延长钨钛靶材寿命的方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN113290351A ,2021-08-24

[2]

一种延长环件寿命的处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 .

中国专利 :CN111469052B ,2020-07-31

[3]

靶材的处理方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

高建 .

中国专利 :CN103481199B ,2014-01-01

[4]

靶材的处理方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

徐清锋 .

中国专利 :CN104419902A ,2015-03-18

[5]

一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN113042974A ,2021-06-29

[6]

靶材组件的处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

刘霞 .

中国专利 :CN108265274A ,2018-07-10

[7]

一种ITO靶材的前处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

滕晓朋 ;

王学泽 .

中国专利 :CN118190576A ,2024-06-14

[8]

一种LCD靶材的抛光处理方法 [P].

姚力军 ;

孙海封 ;

窦兴贤 ;

王青松 .

中国专利 :CN119772665A ,2025-04-08

[9]

一种铝靶材的表面处理方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王锦 ;

王学泽 .

中国专利 :CN118513780A ,2024-08-20

[10]

一种靶材组件的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

李闯 ;

范文新 ;

周伟君 .

中国专利 :CN114750079A ,2022-07-15

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