超薄晶片清洗花篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220520880.1

申请日：

2012-10-12

公开(公告)号：

CN202871759U

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

陆晓东伦淑娴郭艳东王巍周涛李媛

申请人：

申请人地址：

121000 辽宁省锦州市高新技术产业区科技路19号渤海大学

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

锦州辽西专利事务所 21225

代理人：

李辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-10	授权	授权
2014-12-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101590785494 IPC(主分类):H01L 21/673 专利号:ZL2012205208801 申请日:20121012 授权公告日:20130410 终止日期:20131012

共 50 条

[1]

半导体晶片清洗花篮 [P].

陆晓东 ;

张鹏 ;

周涛 ;

赵洋 ;

王泽来 .

中国专利 :CN203787400U ,2014-08-20

[2]

一种半导体晶片清洗花篮 [P].

杜志民 ;

王一宇 ;

郭立洲 .

中国专利 :CN205508774U ,2016-08-24

[3]

一种用于清洗晶片的花篮 [P].

王琳 ;

米洪龙 ;

李小兵 ;

陈宇星 ;

关永莉 ;

梁建 .

中国专利 :CN207503939U ,2018-06-15

[4]

一种用于多晶片清洗的花篮 [P].

毛成状 ;

赵倩 ;

游阿峰 ;

姚本东 ;

郭运 .

中国专利 :CN221304613U ,2024-07-09

[5]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

吉野道朗 ;

高桥正行 ;

松野行壮 ;

久保隆志 .

中国专利 :CN104347384A ,2015-02-11

[6]

晶片清洗装置及晶片清洗方法 [P].

申埈燮 ;

张月 ;

杨涛 ;

卢一泓 ;

刘青 .

中国专利 :CN114226294A ,2022-03-25

[7]

晶片清洗装置及晶片清洗设备 [P].

张洁 ;

苏双图 ;

林武庆 ;

王泽隆 .

中国专利 :CN111009482B ,2020-04-14

[8]

晶圆清洗花篮 [P].

俞挺 ;

张学敏 ;

魏红霞 .

中国专利 :CN205564720U ,2016-09-07

[9]

硅片清洗用花篮 [P].

王会敏 ;

张浩强 ;

李立伟 ;

张稳 .

中国专利 :CN207489818U ,2018-06-12

[10]

晶片清洗装置 [P].

刘伟 ;

吴仪 ;

张豹 ;

蔡家骏 ;

初国超 .

中国专利 :CN202638797U ,2013-01-02

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