共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
抛光垫形貌检测方法
被引：0
申请号：
CN202211156954.2
申请日：
2022-09-22
公开(公告)号：
CN115540808A
公开(公告)日：
2022-12-30
发明(设计)人：
王嘉琪
张为强
赵磊
廉金武
郭益言
梅辰萌
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
IPC主分类号：
G01B2120
IPC分类号：
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
薛异荣
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-30 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/20 申请日:20220922 |