抛光垫与抛光盘之间的气泡检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410017563.8

申请日：

2004-04-07

公开(公告)号：

CN1681100A

公开(公告)日：

2005-10-12

发明(设计)人：

李京漋张海峰徐根保

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01N2900 H01L21304 B24B100 B24B3700

代理机构：

上海隆天新高专利商标代理有限公司

代理人：

楼仙英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-01-11	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101262715110 IPC(主分类):H01L 21/66 专利号:ZL2004100175638 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111202
2007-07-25	授权	授权
2020-03-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20040407 授权公告日:20070725 终止日期:20190407
2005-10-12	公开	公开

共 50 条

[1]

抛光垫、抛光设备的抛光盘和抛光设备 [P].

李清 ;

王昌飞 .

中国专利 :CN222327795U ,2025-01-10

[2]

一种抛光盘上抛光垫缺陷检测装置 [P].

杨东 .

中国专利 :CN223251375U ,2025-08-22

[3]

抛光垫形貌检测方法 [P].

王嘉琪 ;

张为强 ;

赵磊 ;

廉金武 ;

郭益言 ;

梅辰萌 .

中国专利 :CN115540808A ,2022-12-30

[4]

一种抛光垫检测方法和抛光垫检测装置 [P].

王博 ;

盛龙 ;

赵蒙 .

中国专利 :CN120921277A ,2025-11-11

[5]

晶片抛光用抛光垫及抛光垫的自吸附方法 [P].

夏秋良 .

中国专利 :CN105500186A ,2016-04-20

[6]

抛光盘转接垫 [P].

宋旭东 .

中国专利 :CN304184782S ,2017-06-20

[7]

在线检测抛光垫下方气泡的方法 [P].

林士杰 ;

谈文毅 .

中国专利 :CN112207634A ,2021-01-12

[8]

抛光垫形貌检测方法及装置、双面抛光设备 [P].

杨轩 .

中国专利 :CN117359491A ,2024-01-09

[9]

全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 [P].

廖德锋 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

孙荣康 ;

任乐乐 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN108500777A ,2018-09-07

[10]

抛光盘、抛光机、抛光方法及制造半导体器件的方法 [P].

石川彰 ;

千贺达也 ;

丸口士郎 ;

新井孝史 ;

中平法生 ;

松川英二 ;

宫地章 .

中国专利 :CN1345264A ,2002-04-17

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