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全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810301485.6
申请日：
2018-04-04
公开(公告)号：
CN108500777A
公开(公告)日：
2018-09-07
发明(设计)人：
廖德锋 赵世杰 谢瑞清 孙荣康 任乐乐 王健 许乔
申请人：
申请人地址：
621000 四川省绵阳市绵山路64号
IPC主分类号：
B24B1300
IPC分类号：
B24B4912
代理机构：
成都希盛知识产权代理有限公司 51226
代理人：
蒲敏
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-09-07 公开 公开
2018-10-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 13/00 申请日:20180404
共 50 条
[1]
全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
孙荣康 ;
任乐乐 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN208067952U ,2018-11-09
[2]
全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN103978430A ,2014-08-13
[3]
平面抛光盘表面形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN204064259U ,2014-12-31
[4]
平面抛光盘表面形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN103954237B ,2014-07-30
[5]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN211163282U ,2020-08-04
[6]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN110900356A ,2020-03-24
[7]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN110900356B ,2024-10-22
[8]
全口径抛光中抛光盘表面形状的修正装置 [P]. 
廖德锋 ;
张清华 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
张浩宇 ;
钟波 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN204019364U ,2014-12-17
[9]
全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P]. 
田亮 ;
金波佳 ;
赵世杰 ;
张明壮 ;
谢瑞清 ;
廖德锋 ;
樊非 ;
袁志刚 .
中国专利 :CN118990335B ,2025-12-09
[10]
全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P]. 
田亮 ;
金波佳 ;
赵世杰 ;
张明壮 ;
谢瑞清 ;
廖德锋 ;
樊非 ;
袁志刚 .
中国专利 :CN118990335A ,2024-11-22
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