全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410215860.7

申请日：

2014-05-21

公开(公告)号：

CN103978430A

公开(公告)日：

2014-08-13

发明(设计)人：

廖德锋谢瑞清赵世杰陈贤华王健许乔钟波袁志刚邓文辉唐才学徐曦周炼

申请人：

申请人地址：

610041 四川省成都市高新区科园一路3号

IPC主分类号：

B24B4900

IPC分类号：

G01B2120

代理机构：

成都希盛知识产权代理有限公司 51226

代理人：

蒲敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	授权	授权
2014-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586826309 IPC(主分类):B24B 49/00 专利申请号:2014102158607 申请日:20140521
2014-08-13	公开	公开

共 50 条

[1]

全口径抛光中抛光盘表面形状的修正装置 [P].

廖德锋 ;

张清华 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

张浩宇 ;

钟波 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN204019364U ,2014-12-17

[2]

全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 [P].

廖德锋 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

孙荣康 ;

任乐乐 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN108500777A ,2018-09-07

[3]

全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置 [P].

廖德锋 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

孙荣康 ;

任乐乐 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN208067952U ,2018-11-09

[4]

全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置 [P].

廖德锋 ;

李海波 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

侯晶 ;

陈贤华 ;

刘民才 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN211163282U ,2020-08-04

[5]

全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P].

廖德锋 ;

李海波 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

侯晶 ;

陈贤华 ;

刘民才 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN110900356A ,2020-03-24

[6]

全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P].

廖德锋 ;

李海波 ;

谢瑞清 ;

赵世杰 ;

侯晶 ;

陈贤华 ;

刘民才 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN110900356B ,2024-10-22

[7]

全口径抛光中抛光盘表面形状的修正方法及装置 [P].

廖德锋 ;

张清华 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

张浩宇 ;

钟波 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN104191370A ,2014-12-10

[8]

全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P].

田亮 ;

金波佳 ;

赵世杰 ;

张明壮 ;

谢瑞清 ;

廖德锋 ;

樊非 ;

袁志刚 .

中国专利 :CN118990335B ,2025-12-09

[9]

全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P].

田亮 ;

金波佳 ;

赵世杰 ;

张明壮 ;

谢瑞清 ;

廖德锋 ;

樊非 ;

袁志刚 .

中国专利 :CN118990335A ,2024-11-22

[10]

平面抛光盘表面形状误差的检测装置 [P].

廖德锋 ;

赵世杰 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 ;

钟波 ;

袁志刚 ;

邓文辉 ;

唐才学 ;

徐曦 ;

周炼 .

中国专利 :CN103954237B ,2014-07-30

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