全口径抛光中抛光盘表面形状的修正方法及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410456502.5
申请日
2014-09-09
公开(公告)号
CN104191370A
公开(公告)日
2014-12-10
发明(设计)人
廖德锋 张清华 赵世杰 谢瑞清 陈贤华 张浩宇 钟波 王健 许乔
申请人
申请人地址
610041 四川省成都市高新区科园一路3号
IPC主分类号
B24B5302
IPC分类号
代理机构
成都希盛知识产权代理有限公司 51226
代理人
蒲敏
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
全口径抛光中抛光盘表面形状的修正装置 [P]. 
廖德锋 ;
张清华 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
张浩宇 ;
钟波 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN204019364U ,2014-12-17
[2]
全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN103978430A ,2014-08-13
[3]
全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
孙荣康 ;
任乐乐 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN208067952U ,2018-11-09
[4]
全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P]. 
田亮 ;
金波佳 ;
赵世杰 ;
张明壮 ;
谢瑞清 ;
廖德锋 ;
樊非 ;
袁志刚 .
中国专利 :CN118990335B ,2025-12-09
[5]
全口径抛光中抛光盘清洗装置 [P]. 
田亮 ;
金波佳 ;
赵世杰 ;
张明壮 ;
谢瑞清 ;
廖德锋 ;
樊非 ;
袁志刚 .
中国专利 :CN118990335A ,2024-11-22
[6]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN110900356A ,2020-03-24
[7]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN110900356B ,2024-10-22
[8]
全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
孙荣康 ;
任乐乐 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN108500777A ,2018-09-07
[9]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN211163282U ,2020-08-04
[10]
抛光盘表面形状修整装置及方法 [P]. 
任明元 ;
刘文平 ;
强彦东 ;
梁春 ;
文科 .
中国专利 :CN117415732A ,2024-01-19