平面抛光盘表面形状误差的检测装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410215066.2
申请日
2014-05-21
公开(公告)号
CN103954237B
公开(公告)日
2014-07-30
发明(设计)人
廖德锋 赵世杰 谢瑞清 陈贤华 王健 许乔 钟波 袁志刚 邓文辉 唐才学 徐曦 周炼
申请人
申请人地址
610041 四川省成都市高新区科园一路3号
IPC主分类号
G01B1124
IPC分类号
代理机构
成都希盛知识产权代理有限公司 51226
代理人
蒲敏
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
平面抛光盘表面形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN204064259U ,2014-12-31
[2]
全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
孙荣康 ;
任乐乐 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN208067952U ,2018-11-09
[3]
全口径环形抛光中抛光盘形状误差的检测装置及其检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
孙荣康 ;
任乐乐 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN108500777A ,2018-09-07
[4]
全口径平面抛光中抛光盘表面形状的检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 ;
钟波 ;
袁志刚 ;
邓文辉 ;
唐才学 ;
徐曦 ;
周炼 .
中国专利 :CN103978430A ,2014-08-13
[5]
环抛加工修正盘表面形状误差的检测装置及检测方法 [P]. 
任乐乐 ;
张飞虎 ;
廖德锋 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN106949852B ,2017-07-14
[6]
全口径抛光中抛光盘表面形状的修正装置 [P]. 
廖德锋 ;
张清华 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
张浩宇 ;
钟波 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN204019364U ,2014-12-17
[7]
全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置 [P]. 
廖德锋 ;
李海波 ;
谢瑞清 ;
赵世杰 ;
侯晶 ;
陈贤华 ;
刘民才 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN211163282U ,2020-08-04
[8]
环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法 [P]. 
廖德锋 ;
周炼 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN107560585A ,2018-01-09
[9]
沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN107297685A ,2017-10-27
[10]
沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置 [P]. 
廖德锋 ;
赵世杰 ;
谢瑞清 ;
陈贤华 ;
王健 ;
许乔 .
中国专利 :CN207464999U ,2018-06-08