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真空机械手晶圆托盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201120448511.1
申请日：
2011-11-14
公开(公告)号：
CN202307835U
公开(公告)日：
2012-07-04
发明(设计)人：
张晗
凌复华
申请人：
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
沈阳杰克知识产权代理有限公司 21207
代理人：
金春华
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-30 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20111114 授权公告日:20120704 |
| 2021-03-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:专利权人 变更前:沈阳拓荆科技有限公司 变更后:拓荆科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号 变更后:110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
| 2012-07-04 | 授权 | 授权 |