一种硅片检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110997705.5

申请日：

2021-08-27

公开(公告)号：

CN113758930A

公开(公告)日：

2021-12-07

发明(设计)人：

卢亚宾曹深深云宏霞张聪梁坤

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

G01N2189 G01N2184

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

王亚琼

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	公开	公开
2021-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20210827

共 50 条

[1]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

曹深深 ;

云宏霞 ;

张聪 ;

梁坤 .

中国专利 :CN215812463U ,2022-02-11

[2]

一种硅片检测装置 [P].

李志强 .

中国专利 :CN209715770U ,2019-12-03

[3]

一种硅片检测装置及检测方法 [P].

蒲天 ;

程明 ;

吴正福 .

中国专利 :CN113945517A ,2022-01-18

[4]

硅片检测装置 [P].

陈光 .

中国专利 :CN202600164U ,2012-12-12

[5]

一种硅片检测方法和硅片检测装置 [P].

陈全胜 ;

刘尧平 ;

陈伟 ;

吴俊桃 ;

赵燕 ;

王燕 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN107845090B ,2018-03-27

[6]

一种硅片不良品检测装置 [P].

郑森平 ;

江水德 .

中国专利 :CN209690194U ,2019-11-26

[7]

一种硅片缺陷的检测装置 [P].

江水德 .

中国专利 :CN212230395U ,2020-12-25

[8]

一种太赫兹硅片检测装置 [P].

刘金鸽 ;

劳力 ;

施杰 .

中国专利 :CN221007330U ,2024-05-24

[9]

一种单晶硅片检测装置 [P].

唐朝辉 ;

蒋继林 ;

肖兰星 .

中国专利 :CN119804468A ,2025-04-11

[10]

一种用于检测硅片位置的检测装置 [P].

祝伟 ;

俞进宁 ;

华健 .

中国专利 :CN222048890U ,2024-11-22

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