氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03148411.5

申请日：

2003-06-27

公开(公告)号：

CN1567090A

公开(公告)日：

2005-01-19

发明(设计)人：

黄教忠

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹市

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

贾静环;宋莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-01-19	公开	公开
2009-09-09	授权	授权

共 50 条

[1]

氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法 [P].

黄教忠 .

中国专利 :CN101452224A ,2009-06-10

[2]

一种从四甲基氢氧化铵显影液废水中回收四甲基氢氧化铵的方法 [P].

沈江南 ;

吴可 ;

王积宽 ;

张宇 ;

俞良钰 .

中国专利 :CN121063742A ,2025-12-05

[3]

氢氧化四甲基铵的回收系统与方法 [P].

陈春森 .

中国专利 :CN102690206A ,2012-09-26

[4]

一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用 [P].

金炳生 ;

高小云 ;

傅华 ;

刘耀鹏 ;

谢汪洋 ;

杨亮亮 ;

刘兵 .

中国专利 :CN114859677B ,2025-09-26

[5]

一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用 [P].

金炳生 ;

高小云 ;

傅华 ;

刘耀鹏 ;

谢汪洋 ;

杨亮亮 ;

刘兵 .

中国专利 :CN114859677A ,2022-08-05

[6]

氢氧化四甲基铵的回收设备及其方法 [P].

陈国益 ;

曹逸昌 ;

陈镜廉 .

中国专利 :CN101993380A ,2011-03-30

[7]

显影液回收系统 [P].

区炜锋 .

中国专利 :CN109791374B ,2019-05-21

[8]

一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法 [P].

刘颂军 ;

孙炜 ;

冯亚楠 ;

许光 ;

贾成林 ;

金旭 ;

郭双环 ;

秦龙 ;

李燕军 .

中国专利 :CN115390375A ,2022-11-25

[9]

一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法 [P].

刘颂军 ;

孙炜 ;

冯亚楠 ;

许光 ;

贾成林 ;

金旭 ;

郭双环 ;

秦龙 ;

李燕军 .

中国专利 :CN115390375B ,2025-06-27

[10]

自含氢氧化四烷铵的废液回收及纯化氢氧化四烷铵的方法 [P].

陈弘伟 ;

贾志成 ;

叶世贤 ;

何瑞庄 .

中国专利 :CN102134135A ,2011-07-27

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