一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211191012.8

申请日：

2022-09-28

公开(公告)号：

CN115390375B

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

刘颂军孙炜冯亚楠许光贾成林金旭郭双环秦龙李燕军

申请人：

沧州信联化工有限公司

申请人地址：

061109 河北省沧州市临港经济技术开发区张仲景路5号

IPC主分类号：

G03F7/32

IPC分类号：

代理机构：

北京星通盈泰知识产权代理有限公司 11952

代理人：

梅子豪

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	授权	授权
2025-08-01	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更	专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G03F 7/32变更事项:专利权人变更前:沧州信联化工有限公司变更后:信联电子材料科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:061109 河北省沧州市临港经济技术开发区张仲景路5号变更后:061109 河北省沧州市临港经济技术开发区张仲景路5号

共 50 条

[1]

一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法 [P].

刘颂军 ;

孙炜 ;

冯亚楠 ;

许光 ;

贾成林 ;

金旭 ;

郭双环 ;

秦龙 ;

李燕军 .

中国专利 :CN115390375A ,2022-11-25

[2]

一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用 [P].

金炳生 ;

高小云 ;

傅华 ;

刘耀鹏 ;

谢汪洋 ;

杨亮亮 ;

刘兵 .

中国专利 :CN114859677B ,2025-09-26

[3]

一种四甲基氢氧化铵显影液及其制备方法和应用 [P].

金炳生 ;

高小云 ;

傅华 ;

刘耀鹏 ;

谢汪洋 ;

杨亮亮 ;

刘兵 .

中国专利 :CN114859677A ,2022-08-05

[4]

一种从四甲基氢氧化铵显影液废水中回收四甲基氢氧化铵的方法 [P].

沈江南 ;

吴可 ;

王积宽 ;

张宇 ;

俞良钰 .

中国专利 :CN121063742A ,2025-12-05

[5]

一种芯片集成电路四甲基氢氧化铵显影液用非离子表面活性剂的提纯方法及其显影液 [P].

李潇逸 ;

邢攸美 ;

方伟华 ;

倪芸岚 ;

尹云舰 ;

高立江 .

中国专利 :CN112859551A ,2021-05-28

[6]

四甲基氢氧化铵无水剥离液 [P].

曹大妹 .

中国专利 :CN104195560A ,2014-12-10

[7]

四甲基氢氧化铵显影废液再生系统和再生方法 [P].

邢攸美 .

中国专利 :CN105314770A ,2016-02-10

[8]

一种四甲基氢氧化铵的制备方法 [P].

徐博刚 .

中国专利 :CN102030663A ,2011-04-27

[9]

一种固体四甲基氢氧化铵制备装置 [P].

邢攸美 ;

胡涛 ;

徐钉 ;

倪芸岚 ;

章帅迪 ;

金海安 .

中国专利 :CN221637352U ,2024-09-03

[10]

一种高效四甲基氢氧化铵的制备方法 [P].

吴建华 ;

唐文忠 ;

惠健 ;

朱大明 .

中国专利 :CN101597763A ,2009-12-09

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