一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110414248.2

申请日：

2021-04-16

公开(公告)号：

CN113136617A

公开(公告)日：

2021-07-20

发明(设计)人：

陈立民陈丽芳王泽东娄勇

申请人：

申请人地址：

655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B1520 C30B2906

代理机构：

北京冠和权律师事务所 11399

代理人：

吴金水

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 15/00 申请公布日:20210720
2021-08-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20210416
2021-07-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法 [P].

刘博旸 .

中国专利 :CN112176400A ,2021-01-05

[2]

一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法 [P].

刘冬雯 .

中国专利 :CN110284186B ,2024-02-06

[3]

一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法 [P].

刘冬雯 .

中国专利 :CN110284186A ,2019-09-27

[4]

一种直拉法单晶炉 [P].

刘博旸 .

中国专利 :CN214142606U ,2021-09-07

[5]

一种铝合金熔体温度梯度控制装置 [P].

袁晓林 ;

高福军 ;

陈奎 .

中国专利 :CN223258596U ,2025-08-22

[6]

一种单晶炉籽晶冷却杆及晶种附近熔体温度梯度调整方法 [P].

高佑君 ;

王维林 .

中国专利 :CN110106552A ,2019-08-09

[7]

一种区熔法生长大尺寸硅单晶用温度梯度控制装置及方法 [P].

曲翔 .

中国专利 :CN103820847A ,2014-05-28

[8]

便于调节温度梯度的直拉单晶用加热器及直拉单晶方法 [P].

吴丹 .

中国专利 :CN106637385A ,2017-05-10

[9]

一种风洞温度梯度控制装置及其控制方法 [P].

刘震卿 ;

胡一冉 .

中国专利 :CN109917829A ,2019-06-21

[10]

一种用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉 [P].

陈春成 ;

戚建静 ;

徐芳 .

中国专利 :CN221971737U ,2024-11-08

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