一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法

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专利类型
发明
申请号
CN202011063763.2
申请日
2020-09-30
公开(公告)号
CN112176400A
公开(公告)日
2021-01-05
发明(设计)人
刘博旸
申请人
申请人地址
310013 浙江省杭州市西湖区山水人家美林泉1-3-201#
IPC主分类号
C30B1500
IPC分类号
C30B1520 C30B2906
代理机构
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224
代理人
颜果
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法 [P]. 
陈立民 ;
陈丽芳 ;
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[2]
一种直拉法单晶炉 [P]. 
刘博旸 .
中国专利 :CN214142606U ,2021-09-07
[3]
一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法 [P]. 
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[4]
一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法 [P]. 
刘冬雯 .
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[5]
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杨瑞峰 ;
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[6]
一种直拉单晶炉 [P]. 
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[7]
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[10]
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