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一种晶片生产用防污染的高效清洗设备
被引：0
申请号：
CN202122132708.0
申请日：
2021-09-06
公开(公告)号：
CN217094873U
公开(公告)日：
2022-08-02
发明(设计)人：
山世清
申请人：
申请人地址：
201316 上海市浦东新区航头镇沪南公路5469弄126号
IPC主分类号：
B08B1100
IPC分类号：
B08B302
B08B104
B08B1300
代理机构：
上海海钧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31330
代理人：
姜波
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-02 | 授权 | 授权 |