用于铟镓砷/磷化铟平面PIN光电探测器芯片制作的外延片结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200410036171.6
申请日
2004-10-25
公开(公告)号
CN1767217A
公开(公告)日
2006-05-03
发明(设计)人
徐之韬
申请人
申请人地址
361009福建省厦门市吕岭路1721号
IPC主分类号
H01L31075
IPC分类号
H01L310264
代理机构
厦门原创专利事务所
代理人
徐东峰
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
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共 50 条
[1]
铟镓砷光电探测器 [P]. 
史常忻 ;
王庆康 ;
李志奇 .
中国专利 :CN1023360C ,1992-09-09
[2]
铟镓砷光电探测器 [P]. 
史常忻 ;
王庆康 .
中国专利 :CN1039956C ,1994-03-16
[3]
铟镓砷光电探测器 [P]. 
史常忻 ;
王庆康 .
中国专利 :CN1023361C ,1992-09-09
[4]
铟镓砷红外探测器 [P]. 
缪国庆 ;
金亿鑫 ;
蒋红 ;
周天明 ;
宋航 .
中国专利 :CN2569347Y ,2003-08-27
[5]
铟镓砷光电探测器芯片制作的箱式锌扩散方法 [P]. 
徐之韬 ;
邱树添 .
中国专利 :CN100472719C ,2006-05-03
[6]
准平面高速双色铟镓砷光电探测器及其制造方法 [P]. 
曾庆明 ;
蔡道明 ;
李献杰 .
中国专利 :CN101661970A ,2010-03-03
[7]
一种预沉积扩散源制备铟镓砷光电探测器芯片的扩散方法 [P]. 
覃文治 ;
谢和平 ;
陈庆敏 ;
刘源 ;
齐瑞峰 ;
代千 ;
石柱 .
中国专利 :CN111403546A ,2020-07-10
[8]
铟镓砷探测器及其制造方法 [P]. 
胡艳 ;
岳爱文 ;
钟行 ;
马卫东 .
中国专利 :CN115706183A ,2023-02-17
[9]
一种平面型铟镓砷焦平面探测器的PIN结结构 [P]. 
朱琴 ;
龚晓霞 ;
杨文运 ;
宋欣波 ;
李徳香 ;
肖婷婷 ;
范明国 ;
杜润来 ;
尚发兰 ;
吕浩 ;
柴圆媛 ;
太云见 ;
黄晖 .
中国专利 :CN211789059U ,2020-10-27
[10]
铟镓砷光电探测器制造的开管锌扩散方法 [P]. 
曾庆明 ;
李献杰 ;
乔树允 ;
王全树 .
中国专利 :CN1186800C ,2003-04-09