增强型氮化镓晶体管的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610178136.0

申请日：

2016-03-25

公开(公告)号：

CN107230619A

公开(公告)日：

2017-10-03

发明(设计)人：

刘美华孙辉林信南陈建国

申请人：

申请人地址：

100871 北京市海淀区颐和园路5号

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L2128 H01L21321 H01L2906

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

陶敏;刘芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20160325
2017-10-03	公开	公开
2020-09-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/335 申请公布日:20171003

共 50 条

[1]

增强型氮化镓晶体管 [P].

D·皮埃德拉 ;

J·G·费奥雷恩扎 .

美国专利 :CN118231447A ,2024-06-21

[2]

增强型氮化镓晶体管的制造方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230726A ,2017-10-03

[3]

氮化镓晶体管及其制作方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230622A ,2017-10-03

[4]

氮化镓晶体管及其制作方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230711A ,2017-10-03

[5]

氮化镓晶体管的制作方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230634A ,2017-10-03

[6]

氮化镓晶体管和氮化镓晶体管的制造方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230700A ,2017-10-03

[7]

增强型氮化镓晶体管器件 [P].

郭威宏 ;

林素芳 ;

周以伦 ;

傅毅耕 .

中国专利 :CN105633143B ,2016-06-01

[8]

增强型氮化镓晶体管、制作方法、设备的制备方法及设备 [P].

张鹏浩 ;

王路宇 ;

徐敏 ;

王强 ;

潘茂林 ;

樊蓉 ;

杨妍楠 ;

谢欣灵 ;

徐赛生 ;

王晨 ;

张卫 .

中国专利 :CN115548094A ,2022-12-30

[9]

氮化镓晶体管的制作方法 [P].

张翼 ;

张嘉华 ;

林岳钦 .

中国专利 :CN102569071B ,2012-07-11

[10]

氮化镓异质结场效应晶体管的制作方法 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230720A ,2017-10-03

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