ITO薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810161949.8

申请日：

2018-02-27

公开(公告)号：

CN108374155A

公开(公告)日：

2018-08-07

发明(设计)人：

阮勇尤政张晓琳

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

北京华进京联知识产权代理有限公司 11606

代理人：

王程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180227
2018-08-07	公开	公开
2021-06-29	授权	授权

共 50 条

[1]

ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN104109839A ,2014-10-22

[2]

ITO薄膜的制备方法及ITO薄膜 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN104109838A ,2014-10-22

[3]

ITO薄膜制备方法 [P].

谭时雨 ;

周剑飞 ;

李宏建 ;

夏辉 .

中国专利 :CN108109722A ,2018-06-01

[4]

ITO薄膜及其制备方法、LED芯片及其制备方法 [P].

王宽冒 ;

耿波 ;

荣延栋 ;

王厚工 ;

丁培军 .

中国专利 :CN104752569A ,2015-07-01

[5]

一种制备(222)强织构ITO薄膜的方法 [P].

张伟 ;

姜智艺 ;

鲍建秋 ;

胡芳仁 ;

张雪花 .

中国专利 :CN111575666B ,2020-08-25

[6]

一种ITO薄膜制备方法及ITO薄膜 [P].

李文浩 ;

康龙 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN118932285A ,2024-11-12

[7]

ITO薄膜的制备方法 [P].

田立飞 .

中国专利 :CN104651785A ,2015-05-27

[8]

ITO薄膜的制备方法 [P].

崔鸽 ;

洪承健 ;

何永才 ;

董刚强 ;

郁操 ;

徐希翔 ;

李沅民 .

中国专利 :CN108048796A ,2018-05-18

[9]

ITO薄膜及其制造方法 [P].

藤田安彦 .

中国专利 :CN1842492A ,2006-10-04

[10]

一种射频磁控溅射制备ITO薄膜的方法及ITO薄膜 [P].

庞凤梅 ;

徐国华 ;

罗永城 .

中国专利 :CN104513966A ,2015-04-15

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