处理微电子工件的微环境反应器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99803954.3

申请日：

1999-03-15

公开(公告)号：

CN1167518C

公开(公告)日：

2001-04-25

发明(设计)人：

加里·L·柯蒂斯雷蒙·F·汤普森斯蒂文·L·皮斯

申请人：

申请人地址：

美国蒙大拿州

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

H01L2130

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

余刚

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:19990315 授权公告日:20040922 终止日期:20170315
2001-04-25	公开	公开
2001-06-27	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2004-09-22	授权	授权
2012-06-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101384730965 IPC(主分类):B08B 3/02 专利号:ZL998039543 变更事项:专利权人变更前权利人:塞米特公司变更后权利人:应用材料公司变更事项:地址变更前权利人:美国蒙大拿州变更后权利人:美国加利福尼亚州登记生效日:20120515

共 50 条

[1]

处理微电子工件的微环境反应器 [P].

加里·L·柯蒂斯 ;

雷蒙·F·汤普森 ;

斯蒂文·L·皮斯 .

中国专利 :CN1599025A ,2005-03-23

[2]

用于处理微电子工件的设备 [P].

J·D·柯林斯 ;

D·德科雷克 ;

T·A·加斯特 ;

A·D·罗斯 .

中国专利 :CN104319249B ,2015-01-28

[3]

用于处理微电子工件的系统 [P].

杰弗里·M·劳尔哈斯 ;

吉米·D·柯林斯 ;

特蕾西·A·加斯特 ;

艾伦·D·罗斯 .

中国专利 :CN102683249B ,2012-09-19

[4]

微反应器 [P].

张珍珍 ;

石景祯 ;

冯学亮 ;

杨代坤 ;

金阳 .

中国专利 :CN206965715U ,2018-02-06

[5]

微反应器 [P].

丁全有 ;

冯柏成 ;

李鹏飞 ;

杨茜 ;

张岚 ;

孟凡国 ;

黄振 ;

杨智华 .

中国专利 :CN207153676U ,2018-03-30

[6]

微反应器 [P].

李正强 ;

张海彬 .

中国专利 :CN204429264U ,2015-07-01

[7]

微反应器 [P].

李正强 .

中国专利 :CN204429262U ,2015-07-01

[8]

微反应器 [P].

冯俊杰 ;

孙冰 ;

朱红伟 ;

徐伟 ;

石宁 .

中国专利 :CN115554943B ,2025-04-29

[9]

微反应器 [P].

冈本一男 ;

筒井雅宣 .

中国专利 :CN108367265A ,2018-08-03

[10]

微反应器 [P].

林长松 ;

尹艳 ;

高琦 ;

李艳召 ;

林长青 ;

王玉 .

中国专利 :CN209155809U ,2019-07-26

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